LOGOSOL LPA26-3-V23P1-S23-V500P-NE 獨立晶圓預對準器

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Logosol預對準器獨立式,LPA,獨立邊緣處理預對準器，適用于200mm晶圓,減小接觸的邊緣處理預對準器，

適用于200mm晶圓,對準能力：標準200mm晶圓，200mm平晶圓，透明及半透明基板,

接觸區(qū)：邊緣接觸，接觸寬度為1mm,減小接觸的邊緣處理預對準器能夠容忍更大的初始偏移量（最多可達6mm）

LPA26-3

創(chuàng)新、高性能、一體化設計消除了

外部控制器和互連電纜，同時進行維護

兼容性下降

由超低慣性無刷電機驅(qū)動，平穩(wěn)、瞬時

回應

先進的掃描電子設備能夠檢測透明，

半透明和不透明物體，無機械

在不同晶圓尺寸之間重新定位

運動控制軟件具有一套全面的常用功能

使用的命令可實現(xiàn)與的兼容性和接口

多種半導體平臺

典型的對齊周期時間小于四秒，有助于

實現(xiàn)最大系統(tǒng)吞吐量

LS-182AP是一款單軸運動控制器

為應用而設計的集成伺服放大器

使用無刷（AC）、有刷換向（DC）和

松下A或S系列電機，最高1.5馬力。   

在絕對定位模式下，電機位置可以

使用模擬傳感器（電位計）進行控制。  

最多可控制31個智能伺服驅(qū)動器

通過多點全雙工RS-485網(wǎng)絡

分布式運動控制環(huán)境。標準

RJ-45連接器和商用電纜

用于模塊的菊花鏈。 

LS-182AP配備了各種安全功能

例如電機的短路保護，以及

控制器，超行程限位開關輸入，緊急

停止輸入、過壓和欠壓停機。這個

最大電機輸出電流和過載時間

可以設置。